ASML

ASML은 반도체 제조를 위한 첨단 리소그래피 시스템과 지원 소프트웨어를 설계 및 제작합니다. 광학, 레이저, 정밀 메카트로닉스, 센서, 제어 분야의 깊은 전문성을 바탕으로 전 세계 연구개발, 제조, 고객 지원 네트워크를 통해 EUV 및 DUV 솔루션, 계측, 검사, 계산 리소그래피를 제공합니다.

ASML은 반도체 산업에 EUV 및 DUV 리소그래피 시스템, 계측 및 검사, 계산 리소그래피를 제공하는 세계적인 공급업체로, 이들 기술이 결합되어 나노미터 규모의 칩 제조를 가능하게 합니다. 이 플랫폼은 정밀하게 제어된 빛, 첨단 광학, 고강성 메카트로닉스를 사용하여 마스크 패턴을 웨이퍼에 고속으로 전사하며 엄격한 오버레이를 유지합니다. 통합 계측은 포커스, CD, 정렬 데이터를 인라인으로 캡처하여 연구개발부터 대량 생산까지 프로세스를 안정화하는 폐쇄 루프 보정을 가능하게 합니다. 계산 리소그래피는 전체 패터닝 스택을 모델링하여 마스크, 패턴, 노출 설정을 공동 최적화하여 공정 창과 수율을 개선합니다. 전 세계 공장, 연구개발 센터, 고객 지원 사이트 네트워크를 바탕으로 ASML은 선도적인 팹과 긴밀히 협력하여 새로운 노드의 효율적인 양산을 지원합니다. 그 결과 학습 주기가 단축되고 예측 가능한 성능과 확장 가능한 첨단 로직 및 메모리 제조가 실현됩니다.